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1B3-X射线光刻实验站

发布日期：2025-04-10 【字号：大中小】

1B3-X射线光刻实验站位于13号厅，由1B3 弯铁引出，可通过调节反射镜系统，实现反射

光和直通光两条光路，分别进行适合亚微米线条宽度的纳米光刻和适合大于1 毫米厚度的X

射线深度光刻。

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