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CSRe X射线内靶装置（CSRe-IT）由团簇源、碰撞室和收集级三部分组成。预冷至露点附近的气体由Laval喷嘴注入真空腔体，并在喷射过程中通过绝热膨胀冷却到露点以下，降低横向速度并形成微小团簇。经四级准直光阑后形成直径约3～5毫米的团簇束，和储存环中的离子束交叉碰撞，未反应的靶束被收集级抽走。该装置可以保证在5×10^-9Pa的背景真空条件下，提供等效厚度约为1013 atoms/cm²的Ne、Ar、Kr、Xe、N2和1012 atoms/cm²的H2团簇束。碰撞靶室在多个角度配有铍窗和半导体X射线探测器，可以进行高能、高电荷态重离子与原子碰撞的X射线谱学测量，开展如辐射电子俘获、原子内壳层多重电离等研究。